?采用了獨特的數字位移傳感器，可實現高精度·高剛性·高速度的壓電陶瓷平臺。
?采用壓電陶瓷作為驅動機構，環控制時的行程為90μm?100μm，理論分辨率達1nm。和開環控制相比，閉環控制時的最大行程會少10%左右。
?位置檢測采用了數字位移傳感器（頻率→數字變換方式的微小位移傳感器），閉環控制時的顯示分辨率為10nm。
?使用FINE系列控制器，可實現高速定位。
?重復驅動SFS-H（直動）系列平臺，可達10?15Hz的頻率。使用FINE-01γ的模擬信號驅動時，可達25Hz。
?在閉環控制時，平臺的行程與開環控制時相比會減少20%左右。
